2016-10-24 09:18:35来源： 贤集网微机械从诞生至今，从原理研究，器件开发到仪器研制，已经积累了众多成果，主要是由于微机械技术能够以较低成本制造出尺寸微小的机械结构，并且可以将传感器、执行器、控制器...[查看全文]